Trung Quốc sắp có máy quét lithography nội địa có thể sản xuất chip 28nm

Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE), nhà sản xuất máy quét lithography thành công nhất của Trung Quốc, đã tái khẳng định kế hoạch trong tuần này sẽ giao máy quét đầu tiên có khả năng sản xuất chip trên quy trình sản xuất 28nm vào cuối năm nay, theo báo cáo của TechWire Asia, dẫn nguồn từ báo Securities Daily, trích dẫn một nguồn tin giấu tên. Đối với SMEE, máy quét SSA/800-10W của họ là một bước đột phá vì máy quét tiên tiến nhất mà công ty có hiện nay chỉ có khả năng sản xuất chip trên quy trình sản xuất 90nm trở lên. Một công cụ lithography có khả năng sản xuất chip 28nm sẽ cho phép các nhà sản xuất chip Trung Quốc dựa vào thiết bị lithography nội địa cho một loạt các công nghệ tiên tiến.

Động thái này là một phần trong mục tiêu rộng lớn hơn của Trung Quốc nhằm đạt được tự chủ chất bán dẫn và giảm bớt sự phụ thuộc vào công nghệ nước ngoài. Nhưng câu hỏi vẫn còn là liệu SMEE có thể sản xuất máy quét này với số lượng lớn hay không và khi nào họ có thể sản xuất ra các máy quét như vậy để thay thế cho máy của ASML, Canon và Nikon.

Các quy định xuất khẩu mới nhất của chính phủ Mỹ ngăn chặn các nhà sản xuất chip Trung Quốc tiếp cận các công cụ và công nghệ cần thiết để tạo ra chip logic transistor phi phẳng dưới 14nm/16nm, chip 3D NAND có hơn 127 lớp hoạt động và IC DRAM có bước sóng nhỏ hơn 18nm. Các hạn chế từ Hà Lan, Nhật Bản và Đài Loan có hiệu lực vào đầu mùa thu càng cô lập các công ty Trung Quốc như SMIC và YMTC khỏi các công cụ tiên tiến. Những hạn chế này cản trở khả năng sản xuất chip của họ sử dụng các quy trình sản xuất mới nhất, đáng chú ý nhất là quy trình sản xuất 14nm/12nm và 7nm thế hệ thứ 2 của SMIC cũng như quy trình sản xuất 3D NAND 128 lớp và 232 lớp của YMTC.

Do đó, Trung Quốc cần các công cụ lithography nội địa tiên tiến để đảm bảo rằng các nhà sản xuất chip của mình có thể sản xuất chip trên các công nghệ quy trình tiên tiến, chẳng hạn như 14nm. Hiện tại, có vẻ như Shanghai Micro Electronics Equipment đang đi đúng hướng để tiết lộ máy quét SSA/800-10W có khả năng sản xuất chip 28nm, mà họ sẽ giao cho SMIC hoặc viện nghiên cứu chip. Sau khi thực hiện việc này, nhà sản xuất chip vẫn cần một thời gian để tích hợp máy quét mới vào luồng sản xuất của mình. Tuy nhiên, họ sẽ chỉ làm điều này nếu SMEE có thể sản xuất đủ số lượng các công cụ như vậy.

Kết luận: Việc SMEE phát triển và sản xuất máy quét lithography có khả năng sản xuất chip 28nm là một bước đột phá quan trọng đối với ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc. Tuy nhiên, vẫn còn quá sớm để nói liệu SMEE có thể sản xuất máy quét này với số lượng lớn và kịp thời để thay thế cho máy của ASML, Canon và Nikon hay không.